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異質(zhì)結(jié)太陽電池量產(chǎn)HoFCVD解決方案 HAC203-量產(chǎn)研發(fā)型

異質(zhì)結(jié)太陽電池量產(chǎn)HoFCVD解決方案 HAC203-量產(chǎn)研發(fā)型

  • 分類:產(chǎn)品中心
  • 作者:
  • 來源:
  • 發(fā)布時間:2022-07-19
  • 訪問量:0

【概要描述】

異質(zhì)結(jié)太陽電池量產(chǎn)HoFCVD解決方案 HAC203-量產(chǎn)研發(fā)型

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詳情

  針對異質(zhì)結(jié)太陽電池量產(chǎn)研發(fā),提供如下圖所示熱絲CVD主工藝機臺、上下料自動化整體方案,并可配套24.7%效率的baseline工藝。該方案特點:鍍膜順序可任意調(diào)整;每層膜的載板完全獨立,無交叉污染;可達(dá)到最優(yōu)的膜層性能。

 


  (圖片僅供參考)


設(shè)備基本情況如下:
  ?  設(shè)備由4臺熱絲CVD鍍膜設(shè)備和1套自動化上下料系統(tǒng)構(gòu)成;
  ?  4臺設(shè)備分別可以進(jìn)行P、I、I、N型非晶硅/微晶硅/摻氧微晶硅膜的制備;可根據(jù)要求再額外配置其它的氣路。
  ?  每臺設(shè)備有1個載板上下料的掛架、1個Load/Unload腔體、1個鍍膜工藝腔構(gòu)成;
  ?  單個載板可以放置9片尺寸為156-182mm之間的硅片。
  ?  可根據(jù)客戶需要,任意調(diào)整鍍膜的順序、膜厚、層數(shù)等;
  ?  可根據(jù)用戶需求調(diào)整腔體個數(shù)等方案。
  ?  可以編輯工藝菜單,實現(xiàn)由花籃上料到花籃下料的全過程自動控制;也可手動控制。
  ?  每天(8小時)可完成400片以上的異質(zhì)結(jié)用硅薄膜鍍膜。
  詳細(xì)資料請聯(lián)系本公司取得。歡迎各方朋友蒞臨指導(dǎo),交流洽談合作。
  聯(lián)系方式:
  黃先生
  電話:13576906107;郵箱:hbhuang@hactech.cn。
  地址:江西省九江市共青城市國家高新區(qū)火炬五路

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